Cuptoarele cu atmosferă inertă, numite și cuptoare anaerobe, sunt proiectate pentru tratarea termică folosind gaze neoxidante, cum ar fi azotul, într-un mediu de etanșare, sunt potrivite pentru tratarea termică în atmosferă cu concentrație scăzută de oxigen.
Descriere
Seria Cuptoare cu atmosferă inertă este utilizată în fabricarea semiconductorilor pentru coacerea pretratament a plachetelor de siliciu, arseniură de galiu, niobat de litiu, sticlă înainte de acoperirea PR, coacerea filmului dur după acoperirea PR și coacerea la temperatură înaltă după dezvoltare; Este, de asemenea, potrivit pentru departamentele de producție și cercetare științifică, cum ar fi afișaj electronic cu cristale lichide, LCD, CMOS, IS și laboratoare; poate fi folosit și pentru uscare, procesare termică, îmbătrânire și alte teste la temperatură înaltă a articolelor nevolatile, neinflamabile și neexplozive.
Parametrii principali
►Parametrii tehnici
Capacitate: Personalizat conform produselor
Interval de temperatură: ambiantă+50°C ~ 250°C
Conținut de oxigen: ≤50ppm
Uniformitate temperaturii: ±2,5%
Rata de creștere: controlabilă
Intrare azot: Φ8
Debit de azot: 0-240L/min * 2 canale
►Structură
. Cuptor interior: Fabricat din oțel inoxidabil și sudat fără sudură cu gaz argon.
. Sigilat ermetic: camera este sigilată pentru a reduce nivelul de oxigen.
. Structura de admisie a aerului: permite gazelor neoxidante să umple camera.
. Analizor de O2: reglați cu precizie nivelurile de oxigen între 0,5 ~ 21%
► Sistem de control al temperaturii
Controler inteligent de temperatură JAPAN RKC, programe și setări de valori fixe, reglare automată AT, corecție offset și reținere la oprire.
► Convecție aer forțat
Conducta de aer patentată din sistemul de circulație a aerului cald poate regla automat uniformitatea temperaturii.
Caracteristici pentru cuptoare anaerobe (inerte).
► Studio din oțel inoxidabil închis ermetic pentru a preveni pătrunderea atmosferei externe
► Utilizați azot gaz inert pentru tratamentul termic anaerob
► Sunt echipate debitmetru și manometru
► Dispozitive de siguranță multiprotecție
Opțiuni
► Controler programabil PLC+7”.
► Alarma cu lumină intermitentă în trei culori
► Limitator de supratemperatura
► Dispozitive manuale de siguranță
De ce să alegeți cuptoarele cu atmosferă inertă?
În zilele noastre, materialele de cablare din circuite s-au mutat de la aluminiu la cupru cu rezistivitate mai mică. Prin urmare, atunci când sunt tratate termic într-un cuptor normal de uscare, piesele de cupru se pot oxida, cauzând defecte. În plus, se efectuează, de asemenea, îmbătrânirea la 250 de grade C pentru a verifica dacă datele scrise pe memoria flash au fost șterse din cauza electromigrării și dacă părțile bump sunt oxidate, astfel încât conținutul de oxigen trebuie redus la <100ppm. Acest cuptor anaerob a fost dezvoltat pentru a satisface aceste cerințe.
Aplicație
Cuptoarele cu atmosferă inertă sunt utilizate în principal pentru întărire cu lipici BPO/clei PI/clei BCB, IC (napolitană, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, componente electronice de înaltă precizie și alte materiale într-un mediu cu oxigen scăzut pentru teste de uscare și îmbătrânire .
